無油旋渦真空泵的渦旋盤就是一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成渦旋型盤狀結構。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構成了無油旋渦真空泵的基本抽氣單元。動渦旋盤由偏心軸驅動與靜渦旋盤做相對擺動運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。

無油旋渦真空泵具有下述特點：

一、無油，無摩擦、非接觸、無磨損且不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空。

二、抽氣量大：雙渦旋盤結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源。

三、抽氣效率高：帶有3-4個抽氣單元，壓差小；大氣與真空之間由0型圈密封，泄漏低。

四、非接觸，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動小。

五、結構簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩(wěn)。

六、體積小，維修方便，維護費用低。

七、采用空氣冷卻，無需水冷。

了解了它的工作原理與特點之后，我們來看看它的應用領域：

①半導體行業(yè)：薄膜制備設備、半導體器件封裝設備；

②科學儀器行業(yè)：同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；

③機械設備行業(yè)：材料制備設備、真空檢測、材料提純設備；

④化學工業(yè)；

⑤醫(yī)療設備：牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備；

⑥包裝行業(yè)：食品、藥品、生物制品等包裝設備。

無油旋渦真空泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動等基礎、共性問題，并且使系統(tǒng)制造與運行成本降低。
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