高純水設(shè)備制備高純水的基本原理 一般在給水中含有四種雜質(zhì)，現(xiàn)就高純水設(shè)備去除方法分述如下： (1)溶解的無機(jī)鹽 有鈉、鈣、鎂等鹽類，溶于水形成正離子。含有這些離子的水沖洗半導(dǎo)體器件時(shí)，會(huì)使這些不純物擴(kuò)散到集成電路表面，造成短路。過去除去水中無機(jī)鹽是將水蒸餾，但就是三次重蒸餾水，水的電阻率僅3兆歐—厘米，水中仍含有大于01ppm的NaCl。近有用反滲透法去離子。所以要用離子交換樹脂。陽離子交換脂和陰離子交換樹脂分別使用，易于再生，混合床離子交換樹脂用在離子交換的終級(jí)，起把關(guān)的作用。這樣出來的水可達(dá)18兆歐—厘米(25攝氏度)。 (2)溶解的有機(jī)物 有工業(yè)排出污物、洗滌劑、生物分解物和微生物的新陳代謝產(chǎn)物。這些可以用吸附方法除去。炭床要置于離子交換樹脂之前，因本身會(huì)帶來雜質(zhì)。必須注意，進(jìn)入樹脂床的水要先除去有機(jī)物，因?yàn)殡x子交換樹脂易為有機(jī)物(如腐殖酸)污染。反滲透可除去分子量大于300的有機(jī)物，分子量小于300的有機(jī)物可除去90%。 (3)粒子物質(zhì) 很多地方都容易產(chǎn)生，如炭床、樹脂床、深層過濾等一些設(shè)備。雖然用一些方法使達(dá)到高電阻率，但沒有有效地除去粒子物質(zhì)。這就會(huì)使半導(dǎo)體器件出現(xiàn)針孔、短路、斷路、內(nèi)部擊穿和光致抗蝕劑脫落等缺陷。除去粒子物質(zhì)，只有用膜濾，一般標(biāo)準(zhǔn)用孔徑為0.45微米的微孔濾膜，特殊需要用孔徑為0.22微米的微孔濾膜，除去膠體鐵、膠體硅和小細(xì)菌。反滲透也能除去小粒子。 (4)微生物 可看作粒子態(tài)物質(zhì)。但微生物在適宜條件下會(huì)迅速繁殖。在炭床和樹脂床內(nèi)，當(dāng)有機(jī)物積累較多時(shí)，微生物繁殖特別迅速。倘若不限制在一個(gè)范圍以內(nèi)，就會(huì)妨礙炭濾的進(jìn)行和嚴(yán)重污染離子交換樹脂。甚至當(dāng)水分蒸發(fā)時(shí)，在炭床和樹脂床內(nèi)，由于微生物的代謝產(chǎn)物而形成硬膜。對(duì)于離子交換樹脂，再生時(shí)用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿可以殺死細(xì)菌等微生物，若再生周期長(zhǎng)，效果就要差些。對(duì)混合樹脂床，微生物的處理則比較麻煩。 各式{水處理設(shè)備}型號(hào)齊全售后服務(wù)熱線18089282340