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特長(zhǎng) ●低溫領(lǐng)域下的均熱化。 ●低噪音、低振動(dòng) ●優(yōu)良的耐腐蝕性 ●多種自主功能選購(gòu)件
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科NRL180A干式真空泵維修
特長(zhǎng)
●低溫領(lǐng)域下的均熱化。
●低噪音、低振動(dòng)
●優(yōu)良的耐腐蝕性
●多種自主功能選購(gòu)件
用途
◆活性氣體
◆非活性氣體
◆用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣
◆作為前級(jí)泵使用
◆冷凍干燥等水蒸氣排氣
*1極限壓力是氮?dú)猓芊鈿怏w）在5.0 SLM時(shí)的值。
*2無(wú)結(jié)露。
*3用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。
*4氮?dú)猓芊鈿怏w）流量5.0 SLM是固定值。
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